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先進製程新材料特性，就靠它來驗 - TechNews 科技新報

另外隨著退火溫度升高，晶粒也會成長，但當金屬線尺度越來越小，晶粒成長受限，結晶的方向就會影響電子流動的速度。因此在厚度數奈米以上的薄膜，使用 ...

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