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矽晶圓製造業資源化應用技術手冊

矽晶圓製造流程將多晶矽放入高溫長晶爐進行熔融，將矽原子依其需求晶向. 排列，並摻雜微量硼、磷、砷、銻等元素，使其成為在特定電壓下能導電的單晶. 矽晶棒；矽晶棒經切片 ...

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