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半導體解密：ASML光刻機憑什麼能一廠獨大？台積電總能買到 ...

首先光刻膠處理設備把光刻膠旋塗到晶圓表面，再經過分步重複曝光和顯影 ... 式光刻系統，搭配正性光刻膠非常好用而且良率頗高，因此迅速佔領了市場。

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