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单晶硅片的制造技术- 化学品灌装- 华林科纳半导体设备有限公司

应用范围:l 本機台適用於半導體2”4”6”8”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 设备為垂直式 ... 平边或V型槽处理：指定向基准平面加工，用单晶硅捧上的特定结晶方向平边或V型槽。

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