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晶圓結晶方向
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中国SiC碳化硅器件行业深度研究报告
晶片、衬底、抛光片:沿特定的结晶方向将晶体切割、研磨、抛光,得到具有特定晶面和适当电学、光学和机械特性,用于生长外延层的洁净单晶圆薄片。
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