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晶圓結晶方向
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FZ圆片
由于这种生长方法的特征,FZ晶圆片是一种具有高纯度,并且氧碳不纯率极低的晶圆片。 为了抑制结晶半径方向的电阻分布偏差,也有晶片会使用中性子照射(NTD)。
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n-typep-type晶圓主平邊與次平邊判斷
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