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先進CMOS 元件及製程研究--總計畫(3/3) 研究成果報告(完整版)

半場效電晶體的彈道驅動電流與通道方向的關 ... 而矽晶圓跟二氧化矽材料存在著晶格常數不匹. 配地先天限制，晶格不 ... 晶格常數與(110)鍺基板的結晶面的晶格常數較.

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