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爐管氮化矽均勻度改善之研究Study on Improvement of ...

善矽晶圓之均勻度以進一步提高晶圓良率。 關鍵字： 爐管、晶圓良率、矽晶圓、歧管、均勻度 ... 然而除了結晶方向可能影響蝕刻速率外，由於.

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