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如何不破壞樣品，分析晶體結構與薄膜特性? - iST宜特

為什麼要量測晶體結構堆疊情形與薄膜特性通常在晶圓製程、LED製程研發階段時，必須確認樣品的晶體結構是否有堆疊整齊、觀測層與層之間的厚度、密度等 ...

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