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晶圓結晶方向
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第一章晶體性質與半導體成長
使用三個整數來標示晶格中的平面與方向。 ... 許多化合物半導體亦結晶成類似鑽石結構,但在相鄰位置 ... 這種在晶圓基板上成長特定晶向的晶體薄膜的.
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