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光罩

一個 光罩 是一片熔融二氧化矽（石英）板，通常為6英寸（約152 毫米）矩形，其上覆蓋著由不透明、透明和相偏移區域所組成的圖案，在微影製程中圖案被投影到晶圓上， ...

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