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晶圓用途
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https://riw.tgpf.org.tw/Laws/more?id=901
有關貴公司函詢「廢矽晶再利用相關規定」一案
三、一般而言,廢矽晶再利用於矽晶圓原料用途之製程應包括長晶爐長晶、切割、拋光等程序。倘製程流程僅經分選、噴砂、酸洗等程序,則應僅屬廢矽晶表面處理,其產出物非 ...
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