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第三章晶圓製程設備產業研究第一節半導體產業特性

圖12 是ITRS 所整理出進十年來半導體主要產品的技術演進，縱軸是每個晶 ... 51 每一晶圓尺寸和依循摩爾定律製程世代的改變，都讓晶圓廠的投資和研發成本大為增加。如八.

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