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第一章緒論 - 國立交通大學

在晶圓尺寸增加，關鍵尺寸低於0.1μm 的今天，誤差產生的原因日漸複 ... 以往晶圓的元件尺寸每隔2 至3 年就會縮小30%，因此光學 ... 圖2.13 光阻與微影技術之演進 ...

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