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(19)中華民國智慧財產局- TIPS - (12)發明說明書公開本
用於通過夾持該太陽能晶圓或電池;以及旋轉臂,其連接在旋轉馬達和夾具之間,該旋轉臂被旋轉. 馬達在第一旋轉方向上驅動一傳送角度,以在不同的位置之間傳送該太陽能晶圓或 ...
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