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12 吋晶圓接合模組熱固耦合模擬與驗證 - 機械工業網

晶片夾持單元:夾具的功用在於兩片晶圓對位後的固定裝置，必須保持兩片晶圓在進入接合裝置前，接合面不能產生接觸，接合後又不能產生偏差。因此，各家設備 ...

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