型號, JL-D16. 研磨盤外徑, 1127mm. 夾具(游星輪)直徑, 直徑370 mm. DP12, 200齒. 夾具(游星輪)數量, 5 組. 每次總加工數量, 6”晶圓: 15片(3片/一個夾具)
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