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201015230.pdf - 國立交通大學機構典藏

的夾具、光罩和晶圓均浸埋於液體中。液體的折射率介於. 1.4 到1.8 之間,大約與晶圓上的光阻的折射率相似,可降. 低光折射對傾斜角度的影響,提高曝光角度控制的準確率。

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