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爭搶1x奈米代工商機晶圓廠決戰FinFET製程 - 新電子雜誌

... 米以下製程技術外，IMEC亦全力推動18吋晶圓的發展，目前已有相關設備進入驗證階段。 IMEC製程科技副總裁An Steegen(圖3)表示，目前16/14奈米FinFET ...

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