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90/130奈米發展的瓶頸與挑戰:其他電子邏輯元件

... 奈米製程生產晶片結構及記憶體晶片，預計明年將於12吋晶圓廠量產。英特爾的90奈米製程，整合7層的銅導線，並結合248奈米、193奈米波長的蝕刻設備。製造長度僅有50奈米 ...

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