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第五章製程、產品、建廠技術對導入八吋與十二吋廠影響

擴張晶圓集積度的100、90 與65 奈米技術的發展，如微影技術的門檻；在半導. 體產業中，這些個提昇性能與增加應用的技術，若無十二吋廠為基礎則無法降低. 開發成本並同時 ...

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