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CN103499876B - 一种大数值孔径的纯折射式投影光学系统

[0003] 为了曝光出越来越细的IOOnm数量级以下的结构，一方面使用波长低于260nm的紫外光作为曝光系统的光源，例如248nm、193nm、157nm或更短波长的光源；另一方面尽可能增大 ...

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