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中華大學碩士論文

光學微影製程所能得到的解析度與其數值孔徑成正比，與使用之波長λ 成反比如. 表1.1。 ... 的是因應越來越大尺寸的晶圓，使之在該片晶圓中越來越密集的電子元件，需要.

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