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現在是擴展EUV技術藍圖的時候了！ - 電子工程專輯

升級至0.5的更高數值孔徑(NA)，將必須付出十分昂貴的代價。不僅工具成本將倍增至2.35億歐元，較大尺寸的掃描儀也需要更龐大的費用來打造更大規模的晶圓 ...

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