因為數值孔徑越大焦深(DOF)就越小,所以當製程參數(k1)值越小,數值孔徑就可以不需太大。 本實驗並使用PROLITH軟體去模擬,應用65奈米嵌附式減光型像移光罩穿透率6% 和15% ...
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