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數值孔徑越大
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摩爾定律的華麗謝幕:EUV微影機 - 電子時報
數值孔徑是此光學系統中重要的參數,代表著有多少光源能聚焦且有效地投射到晶圓上,其重要性不輸於極紫外光的波長。數值孔徑越大者,能刻出來的線寬也 ...
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