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一种大视场高数值孔径的i-line光刻机投影物镜 - Google

[0002] 随着各行各业对LCD、LED面板的需求不断扩大，生产厂家对大面积投影光刻机也提出了更高的技术指标，主要体现在对投影光刻物镜的视场要求越来越大，同时物镜的成像 ...

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