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數值孔徑半導體
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極紫外光微影—延續摩爾定律的重要技術 - 核能研究所
在所有演講中,微影(lithography)作為半導體製造中定義電路 ... DUV 波段的曝光波長(波長=193 nm)、NA 接近0.95 的高數值孔徑投影透鏡、離.
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