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數值孔徑半導體
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產業趨勢報告|半導體發展之技術回顧與瓶頸(下)
... 波長(λ)成正比及與數值孔徑(NA)成反比。通常是藉由更換光源來提升設備曝光能力,表1是曝光機技術發展歷程,目前全球有能力研製半導體前段晶片製造 ...
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