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​從ASML年報看半導體產業的未來| uSMART

多年來，ASML做了幾個波長步長，DUV光刻系統範圍從365 nm (i-line)， 248 nm (KrF)到193 nm (ArF) ，而EUV光刻機的光波波長僅為13.5nm。 NA是光學系統的數值孔徑，表示光線 ...

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