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[09A025]光刻機光學Optics of Lithography

光刻機光學半導體微影製程是半導體產業的核心技術，其基本組成為：曝光光源、照明系統、光罩、投影鏡頭系統、晶圓載台對準 ... DOF焦深為什麼與數值孔徑的平方成反比？

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