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數值孔徑半導體
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EUV光刻将走向何方?|半导体行业观察 - 知乎专栏
的是波长和数值孔径、工程系数. 技术节点的发展推动着半导体曝光技术解像度(Half Pitch)的发展,ArF液浸曝光技术和EUV曝光技术等的解像度(R)和 ...
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