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應材最新電子束量測系統可提升高數值孔徑EUV製程的控制與良率

美商應材公司推出新的電子束（eBeam） 量測系統，這系統專門用來精確量測由極紫外光（EUV） 和新興高數值孔徑（High-NA） EUV微影技術所定義的半導體 ...

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