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數值孔徑半導體
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應用材料公司最新電子束量測系統提升高數值孔徑極紫外光微影 ...
應用材料公司推出新的電子束(eBeam) 量測系統,這系統專門用來精確量測由極紫外光(EUV) 和新興高數值孔徑(High-NA) EUV微影技術所定義的半導體 ...
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