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數值孔徑半導體
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理學院先進技術系列講座林本堅院士分享光刻創舉
林本堅院士是浸潤式微影技術的開發者,促使半導體製程從193奈米跳躍式縮短至134 ... 成像透鏡的數值孔徑從0.15改善到1.35,而成像波長亦從436奈米縮短 ...
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