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Lithography in ITRS 2001 - 材料世界網

半導體 IC. 從1965年以來，半導體工業一直遵. 守著Intel的創辦人之一「摩爾」博士 ... 半導體元件技術組微影製程技術課工程師 ... 鏡片的數值孔徑，k1則是製程相關常數.

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