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矽晶圓製造業資源化應用技術手冊

化學清洗是為了除去原子、離子不可見的污染，方法較多，有溶劑萃取、. 酸洗(硫酸、硝酸、王水、各種混合酸等)和等離子體法等。其中雙氧水體系清. 洗方法效果好，環境污染小 ...

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