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鋁摻雜與鐵鋁共摻雜氧化鋅薄膜之製備與結構

射頻磁控濺鍍 ； 鐵鋁共摻雜氧化鋅薄膜 ； 紫外光光電子能譜 ； X光光電子能譜 ； 拉曼光譜 ； 磁性 ； RF magnetron sputtering ； Fe- Al co-doped ZnO films ； UPS ...

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