精緻特殊氣體:六氟化硫(SF6)、四氟化碳(CF4)、八氟環丙烷(C3F8)、八氟環丁烷(C4F8)、氯化氫(HCL)、一氧化碳(CO) ○ 超高純度氣體:氧氣、氮氣、氬氣、氦氣及 ...
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