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多通道顯微膜厚量測技術 - AOIEA

薄膜厚度量測方法. 薄膜量測技術中，重要的膜層光學參數有折射率(n)、消光係數(k)以及厚度(d)。其中，由於材質. 的折射率為複數形式，方便起見將材質折射率的實數部與 ...

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