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薄膜厚度(thickness)、折射率(n)及消光係數(k)厚度檢測

2.檢測說明: 利用橢圓偏光量測透明或半透明之薄膜,藉由量測到之偏極光的狀態改變,而去取得想要的資訊,是種非破壞性的檢測。 3.檢測儀器: 橢圓偏光儀 4.檢測範圍: 量測角度: ...

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