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1. 前言 - 工業技術研究院

一般. 來說薄膜應力依材料力學特性可分成兩種類型，. 一種是張應力(Tensile Stress)，另一種則是壓應力. (Compressive Stress)。張應力會使薄膜產生伸張，. 使得膜面或基板 ...

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