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掺杂工艺（七） - 技术资讯

离子注入后的退火也用到R技术RTP提供快速表面加热修复损伤，而不使衬底温度达到扩散的程度。且快速热退火可以在数秒钟内完成，而炉管工艺需要15·30 ...

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