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矽基底金屬誘發側向結晶PN二極體的光電特性李坤樹、黃俊達

利用快速熱退火系統(Rapid Thermal Annealing ... 關鍵詞: 多晶矽; 金屬誘發橫向結晶; 快速熱退火系統; 非晶矽; 奈米顆粒; ... 6 2-3金屬橫向誘發再結晶之原理.

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