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TWI412639B - 矽晶圓及其製造方法

... 所進行的RTA(Rapid Thermal Annealing，快速熱退火)相比，負載非常高的應力。 ... 的矽晶圓供給到元件製造步驟S5，所以，雖然應力產生或破裂產生的原理難以弄清， ...

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