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rapid thermal annealing 原理高溫快速熱退火技術於AM-OLED

因此我們研究利用電漿輔助化學氣相方法在玻璃基板上沉積a-Si，再以快速熱退火(Rapid Thermal Annealing， RTA)方式成功將a-Si轉化成p-Si，不僅有ELA較大晶粒尺寸且 ...

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