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論文名稱: 以快速熱退火法加強金屬側向誘發結晶速率之研究 ... 鎳(Ni)降低製程的溫度以及生長時間，原理主要是藉由鎳與矽(Si)之間的反應產生二矽化鎳(NiSi2)，進行退火 ...

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