例如金屬氧化物半導體(IGZO)退火爐、薄膜電晶體液晶顯示器(TFT-LCD)多層爐、全系列印刷電路板(PCB)曝光機、半導體用無氧烤箱、PCB壓模機等,2012年更以真空晶圓壓膜 ...
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