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TW201717699A - 多重模態微波加熱裝置 - Google Patents

現有商用微波退火設備普遍採用5.8GHz微波頻率取代較為通用之工業微波加熱頻率2.45GHz，藉由縮短微波波長進而壓抑駐波效應，達到均勻退火之目的。

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