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微波退火
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热退火Thermal annealing(TA) - 芯制造ChipManufacturing.org
热退火工艺。 提供了一种用于加工基材的方法,所述方法包括:提供具有表面的基材;提供共聚物组合物,所述共聚物组合物包括:聚(苯乙烯)-b-聚(硅氧 ...
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